上海硅酸盐所碳化硅晶锭制备与晶圆片加工研究和技术研发跃上新台阶

  • 图/文 上海硅酸盐所 (中国科学院上海硅酸盐研究所)
  • 创建于 2019-09-30
  • 110

  在国家有关部委和中国科学院科技促进发展局的支持下,中国科学院上海硅酸盐研究所碳化硅晶体项目部在系统掌握气相组分在籽晶诱导下结晶过程规律的基础上,近期研制成功新型碳化硅晶锭制备设备,其中包括集成石英玻璃钟罩与金属钟罩两者长处的新型PVT制备设备和HTCVT制备设备。目前,前者已投入日常制备实验,后者已完成集成调试。研究人员使用新型PVT制备设备,开发了籽晶拼接技术和温度梯度/气相组分过饱和度综合调控技术,制备出满足加工直径150mm(6inch)和200mm(8inch)晶圆片要求的晶锭;同时开发出晶锭多头制备技术,一批次实验同时制备出3个满足加工直径100mm(4inch)晶圆片要求的晶锭,大幅度降低了制备成本、提高了制备效率。研究人员还将晶锭多头制备技术移植到同类设备上,一批次同时制备出3个满足加工直径50.8mm(2inch)晶圆片的晶锭,验证了该项技术的成熟度和可复制性。 

  此外,在湖州市政府的支持下,研发人员在湖州南太湖科创中心建成了碳化硅晶锭制备和晶圆片加工示范线,由18台PVT制备设备为主体的晶锭制备线和整形/研磨/抛光/CMP/清洗晶圆片加工线已投入正常运行,并研制成功晶锭专用整形一体设备,开发了全自动晶圆片研磨抛光一体技术。2019年1-8月的晶圆片加工数量是2017年全年的9.77倍。总体上,项目部在碳化硅晶锭制备和晶圆片加工研究与成套技术开发上跨上了新台阶。    

碳化硅晶锭

碳化硅晶锭整形加工一体机 

责任编辑:杨慧娴