电子学院《半导体微纳加工技术》课程在半导体所开展实践课教学

  • dianzi (电子电气与通信工程学院)
  • 创建于 2017-01-12
  • 2018

       2016年12月24日,中国科学院大学电子学院《半导体微纳加工技术》课程在中科院半导体研究所集成技术工程研究中心净化实验室进行了实践课部分的教学。选修本门课程的近百名同学走进了先进的微纳加工平台,亲身体验了半导体微纳器件如何经过一系列工序而最终成型的全过程。

     《半导体微纳加工技术》是电子学院开设的专业普及课,内容主要基于微纳加工平台的研发实例与最新成果,重点介绍纳米光刻技术、干法刻蚀技术、薄膜制备技术、聚焦离子束技术、晶片键合技术等与科研工作直接相关的关键微纳加工技术。课程所讲述的内容是各类半导体及其他信息功能器件研发制造中的关键技术,如光电子、微电子、微光机电、传感器件等。课程能够帮助从事各类半导体器件、微纳功能器件等的研究生了解并掌握相关器件制备手段。

      实践课所在的半导体集成技术工程研究中心是中科院半导体所根据国家、科学院和研究所的发展战略需求建立的所级公共技术服务中心,是微纳技术领域国内外知名的综合性半导体工艺技术平台。目前该中心已拥有1700多平米的超净工艺线,140余台套专业化装备,价值超过1.5亿元,具备了较完善的微纳电子学、光电子学及微电子机械器件的集成加工及测试表征能力。中心已为国内外百余家科研院所和企业提供了高质量服务,产生了良好的经济效益及社会效益。半导体集成技术中心是我院十二五建设“典型所级中心”。

      此次实践课分三个环节:首先,同学们参观了课程相关微纳加工设备及测试仪器,通过老师的讲解、介绍,对仪器设备有了整体的了解;其次,老师们针对具体仪器设备进行了操作演示,使同学们对工艺过程有了进一步理解;最后,老师们针对具体器件制备制定了流程,并进行现场流片演示,让同学们真正体会了从材料到器件的完整加工过程。

     实践课过程中同学们积极参与,踊跃提出各种新的想法,现场气氛活跃,达到了通过实践加深对课本知识理解的目的。此次实践课圆满结束,取得了很好的效果。

责任编辑:王亭亭